发布时间：2024-05-05 来源：网络
冰球突破冰球突破冰球突破(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 5.9(22)申请日 2020.12.02(71)申请人 西安奕斯伟硅片技术有限公司地址 710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室 申请人 西安奕斯伟材料技术有限公司(72)发明人 陈兴松(74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 11243代理人 许静张博(51)Int.Cl.B24D 7/16 (2006.01)B24D 7/06 (2006.01)B24D 3/10 (2006.01)B24D 3/32 (2006.01)B24D 3/34 (2006.01) (54)发明名称研磨砂轮及研磨设备(57)摘要本发明提供了一种研磨砂轮及研磨设备，属于半导体技术领域。研磨砂轮，包括：砂轮基体；位于所述砂轮基体一侧的表面上的研磨层，所述研磨层由研磨颗粒、粘结剂、气孔和添加剂组成，所述研磨颗粒的硬度小于金刚石颗粒，且所述研磨颗粒能够与二氧化硅和/或硅发生化学反应。研磨设备安装使用本研磨砂轮，研磨过程中通过机械摩擦能、化学能、热能的综合作用对硅片表面进行去除减薄。本发明能够减少对硅片表面的损伤，减少产品表面粗糙度，减少磨轮印，提高表面纳米形貌，从而提高产品质量。权利要求书1页 说明书6页 附图4页CN 112548883 A2021.03.26CN 112548883 A
